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芯片集成凈化工程

芯片集成凈化工程以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要
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芯片集成凈化工程以芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間為代表的電子工業(yè)工程潔凈室(區)除了對微粒的嚴格控制外,還對溫濕度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更嚴格,消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

        潔凈室(區)的溫、濕度應根據生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無(wú)具體要求時(shí),其溫度可按20~26℃,相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據與國際ISO標注接軌的中國國家標準GB-50073,這類(lèi)潔凈室(區)的潔凈度等級1-9級,其中1-5級,氣流流型為單向流或混合流,風(fēng)速0.2-0.45m/s;6級氣流流型為非單向流,換氣次數50-60次/h;7級氣流流型為非單向流,換氣次數15-25次/h;8-9級氣流流型為非單向流,換氣次數10-15次/h。

        根據現行規范,電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。

        1.電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。

        2.電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。

        3.電子制造行業(yè)萬(wàn)級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值。

        4.補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

        5.保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40㎡。

        無(wú)塵室的送風(fēng)量,應取下面三項最大值:
●保證電子制造廠(chǎng)無(wú)塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量:
●根據熱,濕負荷計算確定電子廠(chǎng)潔凈室的送風(fēng)量:
●向電子制造廠(chǎng)潔凈室內供給的新鮮空氣量:

        這類(lèi)潔凈室(區)有電氣、電子生產(chǎn)潔凈室、電子計算機潔凈室、半導體工業(yè)潔凈室等等。我司對這類(lèi)潔凈室的設計、施工有一定的技術(shù)水平,在凈化通風(fēng)空調工程、公用動(dòng)力系統、電氣工程、照明、電信、消防工程、動(dòng)力設備安裝工程、彩鋼板圍護工程等均能夠均能做較高水平的施工。后期的調查,業(yè)主反映由我司建造(改造)的潔凈室(區)生產(chǎn)出的產(chǎn)品合格率高達99.98%。

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